堀場製作所は6月11日、グループ会社で半導体事業の堀場エステック（京都市）が、マスフローコントローラー（MFC）や薬液濃度モニターなどを生産する「京都福知山工場」（京都・福知山市）を本格稼働したと発表した。ロボットアームやAGV（無人搬送車）、AMR（自律移動ロボット）による自動化設備を導入し、半導体関連製品の量産体制を強化する。
京都福知山工場は延べ床面積約2万3000平方メートルの新工場。約1万平方メートルの生産エリアで、MFC、薬液濃度モニター、自社製品に使うプリント基板を生産する。工場では、高効率な生産体制を敷くため、自働化ラインや自動搬送装置を導入した。
MFCの生産では、ロボットアームを導入し、これまで手作業が必要だった調整工程を自働化した。省人化に加え、作業手順のばらつきを抑え、品質の安定化につなげる。
また、工場内の搬送にAGVやAMRを採用。自働化設備と組み合わせて、工程全体の効率化を進める。国内のMFC生産能力は将来的に最大約3倍、薬液濃度モニターは最大約2倍まで拡張できる見込み。
同工場では、独自のデータマネジメントシステムも活用する。設備の運転データや各種モニタリング情報を統合・可視化し、生産管理やエネルギー運用の最適化に生かす。隣接する研究開発拠点「京都福知山テクノロジーセンター」とも連携し、AI（人工知能）やデジタルツイン技術を活用して製品開発を効率化する。
屋上には総面積約5000平方メートルの太陽光パネルも設置した。余剰電力を水素へ変換・貯蔵し、燃料電池による発電に活用する。
堀場エステックは今後、京都福知山工場を半導体事業の研究開発から量産までを担う拠点として確立する考え。
