ユーゴー、ルネサスが那珂工場に点検AIロボ「ugo mini」導入 半導体設備点検を省力化

ユーゴー（東京・千代田区）は10月1日、ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング（茨城・ひたちなか市）が那珂工場（同）に、点検AIロボット「ugo mini（ユーゴーミニ）」を本導入したと発表した。

ルネサスでは、半導体工場のクリーンルーム内の付帯設備「Sub-Fabエリア（ISO Class6相当）」の日常点検の省力化を目的に導入した。

「ugo mini」は、工場内を自律走行し、設備の点検箇所をカメラで撮影してレポートに保存し、取得した点検データはAPI（アプリケーション・プログラミング・インターフェース）を通じて既存の点検システムと連携する。

ユーゴーとルネサスは2025年から実証実験を重ね、本導入へ移行。その後、需要の高まりを受けて段階的に増台し、現在、工場内に3台を導入している。今後は那珂工場のほかのエリアや、ルネサスの他拠点への展開も視野に評価・検討を進める計画。